半導(dǎo)體 | 光學(xué)缺陷檢測(cè)
02 缺陷檢測(cè)產(chǎn)品 晶諾微缺陷檢測(cè)設(shè)備 PULSAR 系列包括 L 系列和 H 系列，PULSAR L 系列及 PULSAR H 系列是應(yīng)用于電子、半導(dǎo)體工業(yè)領(lǐng)域的如 WLP（晶圓***封裝）、PLP（面板***封裝）、晶圓制造前端工藝等，可實(shí)現(xiàn)從低分辨率到高分辨率的缺陷檢測(cè)、分
● 測(cè)量速度快，產(chǎn)能可以到 6pcs/hr（6inch，0.2um● 設(shè)備穩(wěn)定性和可靠性高;
復(fù)查;
● 亞像素的分辨率（1/10 像素）;
2）產(chǎn)品規(guī)格
● 高速 TDI 線陣掃描；● ● 高分辨率：分辨率低至 0.5um ；
● 高精度，XY 重復(fù)性 ±0.5um
(文章來源于儀器網(wǎng))
