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海洋光學橢偏儀

價  格:詢價

產  地:更新時間:2021-01-18 16:44

品  牌:型  號:SpecEL-2000

狀  態:正常點擊量:2606

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上海非利加實業有限公司

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橢偏儀

SpecEL-2000是***款操作便捷的臺式光譜橢偏儀,主要用于測量平整和半透明的樣品,例如硅晶圓片和玻璃片等薄膜。 

橢圓偏光技術是***種非接觸式、非破壞性,以光學技術測量表面薄膜特性的方法。其檢測原理是:當***束偏振光經過物體表面或界面時,其偏振極化狀態會被改變。而橢偏儀就是通過探測樣品表面的反射光,來測量此改變(即反射光和入射光的振幅及相位的改變量),以決定表面特性薄膜的光學常數(n、k值)及膜厚。 

SpecEL-2000測試系統主要包括:寬帶光源、高性能線陣CCD光譜儀、導光器件、起偏器、樣品測試臺、檢偏器、光學增強元件及測量分析軟件。 

SpecEL-2000適合于探測薄膜厚度、光學常數以及材料微結構特性,通常應用于有薄膜存在的地方,其應用包括光學鍍膜和保護膜、聚合物、光刻材料、平面平板顯示、計算機讀寫頭以及半導體集成電路制造的研究開發。另外,在生物、醫學、化學、電化學及材料研究等方面有著廣泛的應用。

SpecEL橢偏儀基本性能:

基本型號:SpecEI-2000-UV/VIS/NIR & SpecEI-2000-VIS/NIR

光譜范圍:290-1050nm (UV/VIS/NR) & 400-1000nm (VIS/NIR)

測量范圍:1nm~10μm

膜厚分辨率:0.1nm

測量時間:7~13s

測量膜層:32層

光束直徑:300×1200μm (Smaller spots available)

入射角度:700 (other angles available)

樣品調整:高度±1mm;傾斜±10

測量指標:光學常數(n&k)及膜厚

快速響應:在線測量

基底材料:硅晶片和玻璃片等

數學模型:折射率/諧振子/柯西/塞耳邁耶爾/麥克斯韋-加尼特等數學模型

應用場合:光學鍍膜/保護膜/聚合物/光刻材料/平面平板顯示/導體集成電路


產品參數


產品介紹



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