技術(shù)參數(shù)
。曝光面積：4 英寸
。曝光波長：365nm： 40mW/cm，405nm：20-45mW/cm2
。分辨力：1μm
。正面對準(zhǔn)采用雙目雙視場對準(zhǔn)顯微鏡：既可通過目鏡目視對準(zhǔn)，也可通過 CCD+顯示器對準(zhǔn)，光學(xué)合像，光學(xué)倍數(shù) 400 倍，光學(xué)+電子放大 800 倍
物鏡三對：4 倍、10 倍、20 倍
目鏡三對：4 倍、10 倍、20 倍
。底面面對準(zhǔn)：采用雙顯微物鏡+CCD+采集卡+計算機(jī)合像，物鏡軸距范圍 10mm-148mm
。對準(zhǔn)精度：±2μm（雙面，片厚 0.8mm），±0.6μm（單面）
。掩模尺寸： 3 英寸、4 英寸、5 英寸
。樣片尺寸：2 英寸、3 英寸、4 英寸
厚度 0.1mm－－2mm(雙面)
。曝光方式：定時（***方式）和定劑量
。照明不均勻性： 3%（ Ф 100mm 范圍）16
。掩模相對于樣片運(yùn)動行程：
X: ±5mm; Y: ±5mm; Thelta: ±6 度
。汞燈功率：350W（直流，進(jìn)口）
。調(diào)平接觸壓力通過傳感器保證重復(fù)
。數(shù)字設(shè)定對準(zhǔn)間隙和曝光間隙
。具備壓印模塊接口，也具備接近模塊接口
。膠厚：350 μm（SU8 膠，用戶提供檢測條件）
。光源平行性：3.5°
外形尺寸：1300mm（長）x900mm(寬) x1800mm（高）
配置
（1）曝光頭
。冷光橢球鏡
。350 W 進(jìn)口直流高壓汞燈(德***歐司朗)
。XYZ 汞燈調(diào)節(jié)臺
。冷卻風(fēng)扇
。光學(xué)系統(tǒng)：固定光欄、可變光欄、快門、準(zhǔn)直鏡鏡 1、準(zhǔn)直鏡鏡 2、蠅眼透鏡組（79 個透鏡）、i 線濾光片、場鏡1、冷光反射鏡 1、反射鏡 2
（2）對準(zhǔn)工件臺
。掩模樣片相對運(yùn)動臺
。轉(zhuǎn)動臺
。樣片調(diào)平機(jī)構(gòu),自動完成
。樣片調(diào)焦機(jī)構(gòu)，氣缸自動調(diào)
。承片臺 3 個（2 英寸、3 英寸、4 英寸）
。掩模夾 3 個（3 英寸、4 英寸、5 英寸）
。掩模抽拉式上下機(jī)構(gòu)
（3）雙目雙視場對準(zhǔn)顯微鏡（可以選擇帶 CCD 型，目鏡和監(jiān)視器可同時觀測）
。光源、電源
。雙目雙視場對準(zhǔn)顯微鏡主體
。目鏡 3 對（10 倍、16 倍、20 倍，共 6 個）
。物鏡 3 對（4 倍、10 倍、20 倍，共 6 個）17
。CCD 光學(xué)系統(tǒng)（選配件）
。XYZ 底面對準(zhǔn)工件臺
（4）底面 CCD 對準(zhǔn)系統(tǒng)
。光源、電源
。成像光學(xué)系統(tǒng)
。數(shù)據(jù)采集卡
。CCD
（5）電控系統(tǒng)
。汞燈觸發(fā)電源(350W 直流汞燈)
。單片機(jī)控制系統(tǒng)
。控制柜桌
。計算機(jī)系統(tǒng)（21 英寸寬屏液晶顯示器）
（6）氣動系統(tǒng)
。氣缸、電磁閥、減壓閥、氣動開關(guān)等
。電磁閥驅(qū)動
。氣動儀表
（7）其他附件
。真空泵***臺（無油泵）
。空壓機(jī)***臺 （音靜泵）
。管道
滬公網(wǎng)安備31011502016460號
