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美國Trion批量生產(chǎn)用設(shè)備去膠系統(tǒng)

價  格：詢價

產(chǎn)  地：更新時間：2021-01-19 15:36

品  牌：型  號：Gemini 和Apollo

狀  態(tài)：正常點擊量：1323

400-006-7520
聯(lián)系我時，請說明是在上海非利加實業(yè)有限公司上看到的，謝謝！

上海非利加實業(yè)有限公司

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配送方式： 上海自提或三方快遞

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Trion 去膠系統(tǒng)Gemini 和Apollo
 
詳細(xì)介紹

美***Trion Technology
反應(yīng)式離子刻蝕系統(tǒng)及沉積系統(tǒng)

Trion始于***九八九年的等離子刻蝕與沉積系統(tǒng)制造商，Trion為化合物半導(dǎo)體、MEMS(微機電系統(tǒng))、光電器件以及其他半導(dǎo)體市場提供多種設(shè)備。我們的產(chǎn)品在業(yè)內(nèi)以系統(tǒng)占地面積*小、成本低而著稱，且設(shè)備及工藝的可靠性和穩(wěn)定性久經(jīng)考驗。從整套的批量生產(chǎn)用設(shè)備，到簡單的實驗室研發(fā)用系統(tǒng)，盡在Trion。 

批量生產(chǎn)用設(shè)備去膠系統(tǒng)Geminiollo :

 

- 低損傷去膠系統(tǒng)

新式去膠系統(tǒng)的成本已攀升到不合理水平，但Trion已通過兩套價格低廉、緊湊的多功能系統(tǒng)使這***關(guān)鍵問題得到解決：Gemini和Apollo。利用ICP(電感耦合等離子)、微波和射頻偏置功率，可以在低溫條件下將難于消除的光刻膠去除。根據(jù)應(yīng)用要求，每套系統(tǒng)可以結(jié)合SST-Lightning 微波源(既可靠又沒有任何常見的微波調(diào)諧問題) 或ICP 技術(shù)。

• 刻蝕速率高達(dá)6微米/分 
• 高產(chǎn)量
• 等離子損傷低 
• 自動匹配單元
• 適用于100mm 到300mm 基片 
• 設(shè)備占地面積小
• 價格具競爭性

產(chǎn)品參數(shù)


產(chǎn)品介紹




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