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商品編號：89260

高級原子沉積機

價格：詢價

產地：更新時間：2021-01-19 15:36

品牌：型號：P-300B Advanced ALD

狀態：正常點擊量：1623

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PICOSUN P-300B Advanced ALD 高***原子沉積機

技術參數
。基片尺寸和類型 300mm晶圓10片/批次（標準間距）
。200mm晶圓25+2片/批次（標準間距）

工藝溫度 ：50 - 500 °C

基片傳送選件：。 氣動升降（手動加載）
。半自動裝載，用線性裝載器實現
。52片晶圓盒式全自動裝載，用真空批量Load lock實現

前驅體： 。液態，固態，氣態，臭氧源
。前驅源余量傳感器，并提供清洗和裝源服務
。4根獨立源管線，*多加載6個前驅體源

重量：400 + 300 kg

尺寸： (W x H x D) 149 cm x 191 cm x 111 cm

選件：PICOFLOW™ 擴散增強，N2發生器，尾氣處理器，定制設計，與工廠軟件連接服務。

驗收標準：標準設備驗收標準為 Al2O3 工藝

PICOSUN高產量的批量型工業用ALD系統

各種的批量產品裝載及自動化選項ALD技術可以覆蓋各種形狀、各種表面的樣品，可以覆蓋*細小的地方，*難到達的地方。具有高度的保形性、均***性及***無針孔。這使得ALD可以應用于各種行業里，實現各種表面的保護。ALD薄膜可以附著在各種表面上，例如金屬，玻璃，塑料，乃至纖維及粉末。作為氣相、低溫的沉積技術，ALD薄膜可以生長在非常敏感的表面上，例如聚合物薄膜。

***，Picosun的ALD技術應用在鐘表部件、珠寶、硬幣上進行防著色，防腐蝕的裝飾涂層。在生物植入醫療部件上的生物兼容、生物活性涂層。致密、惰性、密封、彈性、透明的ALD薄膜技術挑戰傳統的膜生長方式。在PCB防腐蝕保護、防摩損等領域，ALD層大大提升了部件的質量、可靠性及壽命。

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